明遠精密科技主要業務為
1.半導體設備之功率源及副系統
維修服務及買賣。
RF/ Microwave /DC power supply, Ozone generator, Ozone sensor, CMP motor, ETO system, RPS。
3.技術服務a. ETO syetm 故障分析及排除
b. 半導體製程電漿特性量測及分析
c. 訓練課程
2.系統功能提昇及改善a. ETO system.
b. RPS
4.自有產品a. RPS performance monitor
b. microwave power system monitor