明远提供客户解决特殊问题的专业技术服务如：
　1. ETO系统诊断及功能提升;
　2. 制程电浆光谱量测及分析;
　3. RPS系统改进及监测设备;
　4. 电浆制程微波系统监测及分析
　5. 训练课程:
　 　a. Plasma sources and application.
　 　b. RF/Microwave power system and impedance matching.
　 　c. Basic plasma physics and applications.
　 　d. The principle and characteristics of MKS remote plasma source.
　 　e. Introduction of MKS ozone generators.
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